Эпитаксия

Графитовые подложкодержатели являются одним из основных элементов установки МОС-гидридной эпитаксии - процесса осаждения металлорганических соединений из газообразной фазы на полупроводниковую подложку.

 Для предотвращения загрязнения подложки углеродом или содержащимися в нем примесями на подложкодержатель наносится тонкий слой карбида кремния. Графит для изготовления подложкодержателей специально подбирается таким образом, чтобы коэффициенты термического расширения покрытия и основы совпадали, во избежание отслаивания покрытия в циклах нагрева и охлаждения. Перед нанесением покрытия подложкодержатель подвергается глубокой термохимической очистке от примесей до их суммарного уровня ниже 1 ppm.

Подложкодержатели производства Mersen обладают эксплуатационными свойствами, не уступающими аналогичным изделиям конкурентов, при этом существенно ниже по стоимости.

Срок поставки подложкодержателей наиболее рапространенных видов не превышает 7 недель.

Более подробную информацию о продукции можно получить у наших специалистов по телефону, e-mail или через форму обратной связи.